本文源自:金融界
金融界2024年11月6日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司取得一项名为“一种用于成膜设备的线缆固定结构和成膜设备”的专利，授权公告号 CN 221947849 U，申请日期为 2023 年 12 月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种线缆固定结构和成膜设备。线缆固定结构包括：多对固定钣 金，各对固定钣金中的第一固定钣金组件位于成膜设备的外部支架端，第二固定钣金组件位于成膜设备的腔盖端；以及拖链组，包括多条拖链，拖链的内部用以容纳供电线缆，各拖链的两端分别经由第一固定钣金组件和第二固定钣金组件固定于外部支架端和腔盖端，其中，各拖链在其靠近腔盖端的预设位置处，反装若干节拖链节，以支撑拖链在外部支架端和腔 盖端之间呈 S 形状弯曲。本实用新型能够使得装有供电线缆的拖链在进行开关腔运动中，自主维持弯曲形态，无需人工干预，从而在开关腔运动中不会造成内部线缆表面磨损，并且还能减小外部支架的走线压力，提高设备整体外观效果。
