本文源自:金融界
金融界2024年11月6日消息，国家知识产权局信息显示，江苏神州半导体科技有限公司申请一项名为“一种远程等离子源功率耦合电路及控制系统”的专利，公开号CN 118900492 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明属于
半导体制造技术领域，
提供了一种远程等离子
源功率耦合电路及控制
系统，包括直流电压源、
两路相互并联的均流电
路、三绕组变压器和腔
体负载，均流电路包括
全桥逆变电路、谐振变
换器、均流电阻Ro，全桥
逆变电路输入直流电压源；谐振变换器和全桥逆变电路连接；
谐振变换器包括电感Lr、电容Cr和电感Lk，电感Lr连接全桥逆变
电路，电感Lk连接三绕组变压器；均流电阻Ro和电感Lk连接；三
绕组变压器的初级绕组线圈分别和两路均流电路连接，次级绕
组线圈和腔体负载连接。本发明提供的远程等离子源功率耦合
电路，通过变压器两路均流电路，能够起到提升远程等离子源
输出功率的作用，通过变压器实现硬件自动均流的效果。
