本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 6 日消息，国家知识产权局信息显示，星焓科技（北京）有限公司申请一项名为“一种基于静电探针的等离子体三维检测装置及检测方法”的专利，公开号 CN 118900490 A，申请日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于静电探针的等离子体三维检测装置及检测方法，包括移动探针控制箱体、直线滑台、真空同轴接线柱、加厚法兰盲板、焊接波纹管、延长杆、导向轴承、ER 延长杆、静电探针、驱动器、支撑块、支撑角架、L 型支撑板、位置传感器、支撑板、真空舱盖、真空舱、等离子体发生器、XY 轴位移平台、固定板、旋转平台，本申请的检测装置与检测方法通过改变等离子体的传统的检测方式，使得可以在三维空间中测量等离子体的电势分布，从而获得等离子体的三维结构和特性，更全面和精确地反映等离子体的空间分布、形态，有助于从而揭示等离子体的物理机制和行为规律。
