本文源自:金融界
金融界2024年11月8日消息，国家知识产权局信息显示，昆山龙腾光电股份有限公司取得一项名为“平坦度测量装置和系统”的专利，授权公告号 CN 221959448 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型实施例公开了一种平坦度测量装置和系统，该装置包括电源模块、检测模块、多个压力传感器和多个电阻，多个压力传感器并联连接，压力传感器的输入端与电源模块的第一端连接，每一压力传感器的输出端均与一电阻的第一端连接；其中，压力传感器的内阻与自身受到的压力相关联；检测模块与各压力传感器的输出端连接，以根据检测到的压力传感器的输出端的电压确定压头的平坦度。本实施例提供的技术方案能够实现数字化测量，且精度高，易于保存数据，有利于稽核和制程的改善。
