本文源自:金融界
金融界2024年11月8日消息，国家知识产权局信息显示，上海赐兴微电子技术有限公司取得一项名为“一种扫描式光刻机架构”的专利，授权公告号 CN 221960406 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种扫描式光刻机架构，掩膜台通过联动气浮装置的联动架组构造在硅片工作台的后上方，光源及主镜头分别构造在掩膜台的上方与下方；所述联动架组受驱动后可带动掩膜台与硅片工作台沿Y轴方向同步往复运动；当曝光时候，掩膜台和硅片工作台同时随着气浮台一起进行运动，进而同步调整掩膜台和硅片工作台相对于光源及主镜头的位置关系，进而保证了掩膜台与硅片工作台在位置调整时的同步性；两组气浮扫描台设置在掩膜台与硅片工作台的左右两侧，联动架组的二阶支撑柱贯穿气浮扫描台上的载台I，并且整个架构安装在气囊型减震气浮台的载台II，降低了移动时产生的震动摇摆，保证其抗震性。
