本文源自:金融界
金融界2024年11月8日消息,国家知识产权局信息显示,苏州坤汇半导体有限公司取得一项名为“一种超平硅晶圆片的键合装置”的专利,授权公告号 CN 221960944 U,申请日期为 2024 年 1 月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种键合装置,属于硅晶片键合技术领域,特别涉及一种超平硅晶圆片的键合装置,包括硅晶片,所述硅晶片的上方设有限位结构,限位结构包括置于硅晶片外部的滑轨,滑轨上设有和滑轨对应并置于硅晶片上方的连接板,连接板上连接有置于硅晶片一侧的限位柱,通过设置套设在硅晶片外部的滑轨,滑轨内部的设有和滑轨对应的连接板,连接板在滑轨上转动时,带动限位柱一同转动,限位柱紧贴硅晶片侧壁,从而完成对硅晶片侧壁上溢出的浆料的剐取,保持洁净,同时在转动时会对硅晶片进行限位,防止晶片位置发生偏移。
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