本文源自:金融界
金融界2024年11月9日消息，国家知识产权局信息显示，天津安联信科技有限公司取得一项名为“一种半导体加工用抛光装置”的专利，授权公告号CN 221967699 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体加工用抛光装置，包括抛光箱、半导体固定架、抛光组件、储液罐、吸尘箱和安装板，所述抛光箱底部设有导向斜板，所述抛光箱一侧设有排污阀，所述抛光箱前后两端分别设有防护门，所述防护门上设有观察窗，所述半导体固定架设于抛光箱两内侧壁中部，所述安装板滑动设于抛光箱内且位于半导体固定架上方，所述抛光箱上顶壁中部设有液压缸，所述液压缸的输出轴贯穿抛光箱与安装板上中部连接，所述抛光组件设于安装板下端且位于半导体固定架上方，所述储液罐设于抛光箱上顶部一侧，所述吸尘箱对称设于抛光箱两侧。本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种除尘效果好的，能够批量加工的半导体加工用抛光装置。
