本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于基于扼流的质量流验证的方法、系统和设备”的专利，公开号 CN 118913409 A，申请日期为 2017年5月。
专利摘要显示，质量流验证系统与设备可依据扼流原理而验证质量流控制器(MFC)的质量流速率。这些系统与设备可以包括并联耦接的多个不同尺寸的流量限制器。可以经由依据MFC的设定点而选择通过流量限制器中的一个的流动路径以验证各种流动速率。可以经由在扼流条件下的流量限制器的上游的压力与温度测量而确定质量流速率也提供依据扼流原理验证质量流速率的方法，以及其他态样。
