本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，苏州赛森电子科技有限公司申请一项名为“一种基于采光装置的反应腔辉光检测方法及系统”的专利，公开号 CN 118913459 A，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，本申请公开了一种基于采光装置的反应腔辉光检测方法及系统，涉及半导体刻蚀技术领域，该方法包括：获取辉光成分信息；判断所述辉光成分信息是否符合预先设置的波长光阈值信息，若符合，则将所述辉光成分信息传输至采光装置并获取辉光波长信息；基于所述辉光波长信息，将所述辉光波长信息进行光照度处理得到波长光照度信息；判断所述波长光照度信息是否满足预设光照度信息，若满足则生成波长光照度数据；根据所述波长光照度数据进行光电转换得到波长电流信息；基于所述波长电流信息，将所述波长电流信息信号放大后生成波长电压信号；将所述波长电压信号输入至控制装置中输出得到辉光反应数据。
