本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 11 日消息，国家知识产权局信息显示，上海大尘微影半导体科技有限公司申请一项名为“一种光学四细分的扫描式外差干涉振动检测装置”的专利，公开号 CN 118913425 A，申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示，本发明属于光学干涉振动检测技术领域，具体公开了一种光学四细分的扫描式外差干涉振动检测装置，包括激光器、定位小孔、非偏振分光棱镜、二分之一波片、正偏振分光棱镜、第一信号采集系统、第二信号采集系统、第一光路反射系统以及第二光路反射系统所述激光器射出的激光穿过定位小孔并被非偏振分光棱镜分为检测信号路与参考信号路，参考信号路通过第一信号采集系统转换为电信号后被数据采集卡采集；信号光路被正偏振分光棱镜分为光路一和光路二，光路一通过第一光路反射系统反射至第二信号采集系统，光路二通过第二光路反射系统反射至第二信号采集系统；第二信号采集系统通过将光路一与光路二转换为电信号后被所述数据采集卡采集。
