本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市中图仪器股份有限公司申请一项名为“扫描电子显微成像系统及显微测量方法”的专利，公开号 CN 118914259 A，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，一种扫描电子显微成像系统及显微测量方法，包括：样品台，用于放置样品；真空舱，具有装配端和密封端，真空舱的内部形成有贯通装配端和密封端布置的容纳腔；镜筒，用于加速电子并射出电子束至样品；镜筒设置于装配端，并与容纳腔密封连通；运动平台，用于承载并驱使样品台抵接于密封端，以使样品台封闭容纳腔，从而将容纳腔围成容纳样品的样品腔。由于真空舱与样品台之间直接密封连接将样品台运动平台设置于所需抽真空的样品腔之外从而减少了所需布设于样品腔内的设备数量，缩减了容纳腔所需的空间，从而缩短了抽真空的等待时间，提升了测量效率。
