本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市汇芯通信技术有限公司申请一项名为“一种光刻多复用装置及其制作方法”的专利，公开号CN 118915401 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明 属于半导体技术领 域，公开了一种光刻 多复用装置及其制 作方法，所述装置包 括设置于光刻机载 片台与曝光光源之 间的水平支架以及 内嵌于水平支架上的圆形镂空区；圆形镂空区中间设置有若干 隔离带，且若干隔离带等面积分割圆形镂空区；水平支架上设 置有滑轨凹槽，且滑轨凹槽设置于圆形镂空区的外周；圆形镂 空区的上方设置有具有镂空结构的遮光罩，且遮光罩的支撑脚 活动安装于滑轨凹槽中，水平支架的外边框与滑轨凹槽之间设 置有若干对准线，且若干对准线等距离分割滑轨凹槽的周长。本发明提供的光刻多复用装置，有效的保证了光刻装置在进行 多次光刻试验时晶圆上的曝光区域的面积相同，且能够通过相 邻的两个隔离带区分出晶圆上的各个曝光区域。
