本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，江苏维普光电科技有限公司申请一项名为“一种使用多个光学头进行掩膜版检测的方法”的专利，公开号 CN 118915382 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种使用多个光学头进行掩膜版检测的方法，方法基于一运动平台实现，运动平台包括多个与相应光学头相连以带动相应光学头沿X向移动的X轴移动部件和适于承载掩膜版并带动其上的掩膜版沿Y向移动和绕Z向旋转的承载平台；方法的步骤中包括标定多个光学头的相对偏差位置：将其中一个光学头作为主光学头，将其余光学头作为副光学头，利用掩膜版的同一Mark点在各光学头的视场中心的坐标得到各副光学头相对主光学头的相对偏差位置；标定运动平台的XY向正交性角度θ：以主光学头为基准利用掩膜版的Mark点组标定运动平台的XY向正交性角度θ。通过该方法缩短了掩膜版缺陷检测的总体时间，提高了检测的效率。
