本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，合肥睿翼创智技术开发有限公司申请一项名为“多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备”的专利，公开号CN 118915396 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明一种多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备，旨在解决多分镜头无掩膜光刻系统中数据处理路径长、处理单元要求高及实时性不足的问题，通过提出一种反倾斜直接帧化法，对各成像区域条带图形进行反倾斜处理，直接构造帧化矩形并进行多边形填充，最终合并为全区域帧图像，实现多分帧图像的实时生成，通过本发明的实施，减少了中间步骤，缩减了数据量和传输时间；优化了空间光调制器和数据处理单元的使用，减少了主机硬件的投入；提高了曝光响应时间和单位时间内的制程能力，增强了系统的实时性，提升了制程能力和曝光效率。
