本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市汇芯通信技术有限公司申请一项名为“一种光刻多复用装置及其制作方法”的专利，公开号 CN 118915400 A，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，本发明属于半导体技术领域，公开了一种光刻多复用装置及其制作方法，所述装置包括设置于光刻机载片台与曝光光源之间的水平支架，以及内嵌于水平支架上的圆形镂空区；所述圆形镂空区中间设置有若干隔离带，且所述若干隔离带等面积分割所述圆形镂空区；所述水平支架上设置有滑轨凹槽，且所述滑轨凹槽设置于所述圆形镂空区的外周；所述圆形镂空区的上方设置有具有镂空结构的遮光罩，且所述遮光罩的支撑脚活动安装于所述滑轨凹槽中。本发明提供的光刻多复用装置，通过在相邻的两条隔离带中间转动所述遮光罩的镂空结构，可以在一片晶圆上形成若干曝光区域，并且能够通过相邻的两个隔离带区分出晶圆上的各个曝光区域。
