ASML荷兰有限公司申请用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法专利,提供一种生成特征图案的创新方式

ASML荷兰有限公司申请用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法专利,提供一种生成特征图案的创新方式
2024年11月11日 12:35 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月11日消息,国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法”的专利,公开号CN 118915395 A,申请日期为2019年10月。

专利摘要显示,一种生成用于图案化过程的特征图案和训练机器学习模型的方法。用于生成特征图案的方法包括:获得经训练的生成器模型和输入图案,该经训练的生成器模型被配置为生成特征图案(例如热点图案);以及经由经训练的生成器模型(例如CNN)的模拟,基于输入图案生成特征图案,其中,输入图案是随机向量、一种类型图案中的至少一者。

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