本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 11 日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鹏举半导体设备技术有限公司申请一项名为“半导体原子级工艺设备集中控制系统”的专利，公开号 CN 118915628 A，申请日期为 2023 年 12 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体原子级工艺设备集中控制系统，用于批量性实验及安全教学，原子层沉积设备、原子层刻蚀设备分别包括多台 ALD 设备、多台 ALE 设备，两者均还包括：上位机组态软件，上位机组态软件分别通过以太网接口与每台 ALD 设备或 ALE 设备的 PLC 连接；上位机组态软件的操作主界面具有本地模式模块界面、兼容模式模块界面、远程模式模块界面；当操作主界面进入本地模式模块界面，上位机组态软件仅用于读取 ALD 设备或 ALE 设备数据；当操作主界面进入远程模式模块界面，每台 ALD 设备或 ALE 设备仅受上位机组态软件控制；当操作主界面进入兼容模式模块界面，每台 ALD 设备或 ALE 设备受上位机组态软件远程操作控制，或受每台 ALD 设备或 ALE 设备本地操作控制。
