本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，午芯芯科技（辽宁省）有限公司取得一项名为“一种山形电容式芯片结构”的专利，授权公告号CN 221976332 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，一种山形电容式芯片结构属于微机电系统(MEMS)技术领域，尤其涉及一种山形的电容式芯片结构。本实用新型提供一种性能更好的具有支撑的电容式芯片结构。本实用新型包括上极板(02)、下极板(01)、腔体(05)、第一支撑(03)和第二支撑(04)，下极板(01)上端设置第一支撑(03)，第一支撑(03)上端设置上极板(02),上极板(02)与下极板(01)、第一支撑(03)之间为腔体(05),上极板(02)与下极板(01)周边之间通过第一支撑(03)相连,第一支撑(03)为腔体(05)的侧壁,其特征在于腔体(05) 内部下极板(01) 上设置第二支撑(04)，上极板(02)和/或下极板(01)为感压极板。
