本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“物料调度方法及半导体工艺设备”的专利，公开号 CN 118919446 A，申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示，本申请公开了一种物料调度方法及半导体工艺设备。其中，该方法包括：获取储料器中的填充晶圆盒和填充晶圆盒中的填充晶圆，以及各自的使用次数；将使用次数等于或者小于使用次数阈值的填充晶圆盒中，使用次数小于使用次数阈值的填充晶圆存储至第一变量中；删除第一变量中多余数量的填充晶圆；将删除后的第一变量中的填充晶圆传输到晶舟上，执行工艺，更新填充晶圆和填充晶圆盒的使用次数，并将晶舟上的填充晶圆传输回对应的填充晶圆盒；若填充晶圆盒中填充晶圆的最小使用次数等于使用次数阈值则将填充晶圆盒从储料器装载出半导体工艺设备。本申请使得每个填充Wafer均可以充分使用，提高了物料的使用率、传输效率和产能。
