本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息,国家知识产权局信息显示,芯瑞半导体(中山)有限公司申请一项名为“一种半导体加工用热压装置”的专利,公开号 CN 118919451 A,申请日期为 2024年7月。
专利摘要显示,本发明涉及热压装置技术领域,尤其是一种半导体加工用热压装置,包括加工台以及下压机构,所述加工台上固定设置有与所述下压机构相配合的支架,所述加工台上设置有用于放置半导体的定位模具,所述定位模具上开设有多个用于安放半导体的放置槽,所述放置槽内设置有托板,所述托板与所述放置槽之间设置有第一弹簧,所述定位模具上设置有与所述托板相配合的限位机构,所述加工台与所述定位模具之间设置有复位机构,通过设置下压机构以及热压板对半导体进行热压处理,通过设置限位机构对托板及其承载的半导体进行限位,当加工完成后,限位机构取消对托板的限位,使得半导体脱离放置槽,降低收取难度,从而提高热压装置的加工效率。
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