本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 11 日消息,国家知识产权局信息显示,杭州谱析光晶半导体科技有限公司申请一项名为“一种具有接触插塞结构的 VDMOSFET 器件”的专利,公开号 CN 118919570 A,申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种具有接触插塞结构的 VDMOSFET 器件,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极,漏极的上方设置有导电衬底层,导电衬底层的上端两侧均设置有导电外延层,导电衬底层的上端中部设置有导电柱区,导电柱区的上方均设置有绝缘层和栅介质层,导电源区的上方、栅介质层的上方和导电阱区的上方共同设置有源极电极,源极电极的上方两侧设置有金属插塞结构和硬掩膜层,两个金属插塞结构的上方均设置有栅极金属层。该具有接触插塞结构的 VDMOSFET 器件,增加电场的缓冲高效性,避免器件栅极层积累大量电荷造成栅极层被击穿的情况,有利于保障器件耐高压的性能,提高 MOSFET 晶体管的使用效果。
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