本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息,国家知识产权局信息显示,无锡光磊电子科技有限公司申请一项名为“一种提高MOS器件耐压的方法”的专利,公开号CN 118919411 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种提高MOS器件耐压的方法,包括S1,首先进行衬底材料的选取;S2,选择栅极材料并制备栅极;S3,进行分级电压配置;S4,在进行源极和漏极设置时调整掺杂工艺参数;S5,调整多级MOS结构之间的距离;S6,进行MOS器件的耐压测试。本方明在进行MOS器件耐压能力提升的方法包括设置第一绝缘层和第二绝缘层、选择衬底材料和栅极材料、进行电压分级配置,调整掺杂工艺以及调整多级MOS结构之间的距离共同实现,通过上述方法之间的结合,使得进行MOS器件耐压改性操作起来更加的灵活,同时利用多种调节的方式使得MOS器件改性实施效果更加的明显,以此使得本方案制备出的MOS器件高压使用下性能更稳定。
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