本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，珠海埃克斯智能科技有限公司申请一项名为“组合设备的加工控制方法、装置、设备、存储介质及产品”的专利，公开号 CN 118919459 A，申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示，本申请公开了一种组合设备的加工控制方法、装置、设备、存储介质及产品，涉及半导体制造技术领域，在本申请中对于多个加工模块中任意一组可并行的目标加工模块，构建各目标加工模块的初始累积工艺次数，得到各候选初始累积工艺次数集；从各候选初始累积工艺次数集中选取，晶圆平均加工周期最短的候选初始累积工艺次数集作为目标初始累积工艺次数集；将目标初始累积工艺次数集中各目标加工模块的初始累积工艺次数，转换为各目标加工模块的理论延迟启动时长，在基于各目标加工模块的理论延迟启动时长，启动各目标加工模块对待加工晶圆组中的晶圆进行加工，以错开各目标加工模块进入清洗步骤的时间，从而避免加工模块集中清洗的问题。
