本文源自:金融界
金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种射频等离子体匹配网络电路”的专利，公开号CN 118919388 A，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，本申请提供一种射频等离子体匹配网络电路，包括：第一真空继电器以及高/低功率等离子体负载匹配网络利用第真空继电器实现高功率等离子体负载匹配网络和低功率等离子体负载匹配网络之间的切换，低功率等离子体负载匹配网络包括电容模块和电阻模块，也就是说，低功率等离子体负载匹配网络中的电容模块和电阻模块实现对射频电源的功率衰减，实现低功率等离子体的稳定工艺，具体可以通过调整电容模块的电容和电阻模块的电阻实现对于低功率等离子体工艺的精确调整，由此可见，本申请实施例提供的射频等离子体匹配网络电路，能够满足对于高低能量等离子体组合工艺的需求，拓展了半导体设备的工艺窗口，能够更好地进行半导体器件及芯片的制造。
