广州赛隆增材申请宽幅域扫描用电子束的自动校正专利,能够实现宽幅域扫描用电子束的自动偏转像差校正和自动聚焦校正

广州赛隆增材申请宽幅域扫描用电子束的自动校正专利,能够实现宽幅域扫描用电子束的自动偏转像差校正和自动聚焦校正
2024年11月11日 20:20 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月11日消息,国家知识产权局信息显示,广州赛隆增材制造有限责任公司申请一项名为“宽幅域扫描用电子束的自动校正方法、装置、设备及介质”的专利,公开号 CN 118919384 A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本发明公开了一种宽幅域扫描用电子束的自动校正方法、装置、设备及介质,该方法包括:控制电子束以标定板上的当前标定物为起点,以预设偏转速 度扫描预设距离,其中,所述预设距离为标定物间距;根据当前标定物的下一标定物的位置和电子束的当前位置进行偏转像差校正;根据电子束的当前亮度,进行聚焦校正;重复上述步骤,直至完成对标定板上全部标定物的偏转像差校正和聚焦校正。本发明的技术方案,能够实现宽幅域扫描用电子束的自动偏转像差校正和自动聚焦校正,提高了校正精度。

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