本文源自:金融界
金融界2024年11月12日消息，国家知识产权局信息显示，光粒（松阳）科技有限公司取得一项名为“一种全息光栅的曝光系统”的专利，授权公告号 CN 221977145 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种全息光栅的曝光系统，包括：用于输出激光光束的激光器；依次设置在激光器的输出光路上，用于对激光光束的光强大小进行调制的光调制组件扩束组件以及用于对激光光束进行分光并至少形成第一光束和第二光束的分光组件；用于对第一光束进行反射的第一反射元件；设置在第一反射元件反射输出第一光束的光路，与分光元件输出的第二光束的光路的交叉位置上的全息干板，以通过第一光束和第二光束对全息干板进行曝光。本申请中采用先对激光光束进行调制以及扩束之后，再进行分光，无需对两路光束进行分别调制和扩束后再入射至全息干板，简化光路结构，减小光学曝光系统的搭建成本和空间体积，增强曝光系统的抗干扰能力。
