本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 12 日消息，国家知识产权局信息显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司取得一项名为“一种微影装置”的专利，授权公告号 CN 221978379 U，申请日期为 2023 年 12 月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种微影装置，应用于半导体技术领域，包括：光学镜片、分束装置和光谱带宽探测器；沿激光传输方向光谱带宽探测器位于光学镜片的后面；沿激光传输方向分束装置位于光谱带宽探测器和光学镜片之间，以将激光划分为第一激光束和第二激光束，第一激光束传输至晶圆待曝光区域，第二激光束传输进光谱带宽探测器，使光谱带宽探测器根据第二激光光束得到 E95 当前值与 E95 目标值的对比结果；光谱带宽探测器与激光器电气连接，以将对比结果反馈给激光器进行调节，激光器在调节后将调节结果反馈给光谱带宽探测器。能实现对光谱带宽实时监控和反馈，从而优化对 CD 的控制；能避免光学镜片损伤对光谱带宽测量值的影响；能降低经济损失。
