本文源自:金融界
金融界2024年11月12日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“用于晶圆抛光的支撑组件和抛光设备”的专利，公开号 CN 118927159 A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本申请提供一种用于晶圆抛光的支撑组件和抛光设备，支撑组件包括框架、动力机构、第一防护件和第二防护件，动力机构与所述框架沿横向滑动连接且至少部分位于所述框架的下方；第一防护件具有第一避让孔，以套设在所述动力机构外，所述第一防护件连接于所述框架下方；第二防护件具有第二避让孔，以套设在所述动力机构外，且所述第二防护件与所述动力机构密封连接，所述第二防护件位于所述第一防护件的下方；所述第一防护件和所述第二防护件之间设置有间隔分布的第一防护结构和第二防护结构，所述第一防护结构和第二防护结构用于阻挡液体进入所述动力机构的内部。
