本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 13 日消息，国家知识产权局信息显示，准懋（杭州）科技有限公司申请一项名为“一种 MEMS 器件”的专利，公开号 CN 118929558 A，申请日期为 2024 年 1 月。
专利摘要显示，本申请公开了一种 MEMS 器件，包括：敏感单元，敏感单元包括可动电极板，位于可动电极板第一侧的第一电极板和位于可动电极板第二侧的第二电极板，第一电极板与可动电极板构成第一电容；第二电极板与可动电极板构成第二电容第电容和第二电 容共同构成敏感单元的检测电容；差模检测模块，第一电容和第二电容连接至差模检测模块的输入端，差模检测模块实现第一电容和第二电容的差模检测；共模检测模块，第一电容和第二电容连接至共模检测模块的输入端，共模检测模块实现第一电容和第二电容的共模检测；以及非线性消除模块，差模检测模块的输出端和共模检测模块的输出端分别连接至非线性消除模块的输入端。
