本文源自:金融界
金融界2024年11月13日消息，国家知识产权局信息显示，上海菲利华石创科技有限公司申请一项名为“石英玻璃制品成型方法及石英玻璃制品成型设备”的专利，公开号 CN 118930025 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请提供了一种石英玻璃制品成型方法及石英玻璃制品成型设备，属于半导体器件制造技术领域。方法包括：将石英玻璃板放置于石英玻璃制品成型模具上，并加热石英玻璃板至预处理温度；在预设保温时长内，对石英玻璃板进行保温处理；继续加热石英玻璃板至软化温度；当石英玻璃板的实际变形量 L0 达到第一预设变形值时，对石英玻璃制品成型模具的真空腔室抽真空；当石英玻璃板的实际变形量 L0 达到第二预设变形值时，石英玻璃板成型为石英玻璃制品，停止对真空腔室的抽真空操作。本申请提供的石英玻璃制品成型方法，可以降低石英玻璃制品的加工难度，减少材料消耗，提高石英玻璃制品的加工精度及产品合格率。
