本文源自:金融界
金融界2024年11月13日消息，国家知识产权局信息显示，安徽熙泰智能科技有限公司申请一项名为“一种掩模装置的基板及对位方法”的专利，公开号CN 118932283 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提出了一种掩模装置的基板及对位方法。所述基板包括：在基板的边缘具有至少两个对位标记；在每一个对位标记内具有至少两个不相同的对位图案。本发明通过使用多种对位图案组成对位标记，相比于常规的单个方形、圆形或十字形对位标，由于具有更高的图案复杂度及容错率，在无需升级对位系统硬件和软件的情况下，能够快速找到准确的定位点，实现精准对位，在不大幅增加成本的情况下，显著提高掩模板与基板的对位精度。
