湘潭宏大真空技术申请一种真空镀膜室专利,使用灵活性高

湘潭宏大真空技术申请一种真空镀膜室专利,使用灵活性高
2024年11月13日 14:40 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月13日消息,国家知识产权局信息显示,湘潭宏大真空技术股份有限公司申请一项名为“一种真空镀膜室”的专利,公开号CN 118932288 A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,本发明公开了一种真空镀膜室,包括用于容纳产品的镀膜腔室,镀膜腔室具有供产品进出的出入口和用于通入工艺气体的进气孔,镀膜腔室内设有用于遮挡进气孔的遮挡件和驱动遮挡件运动以调整遮挡位置的驱动装置,通过调整遮挡件的遮挡位置使遮挡件在遮挡进气孔和不遮挡进气孔的状态切换。该真空镀膜室具有使用灵活性高、可提高镀膜质量、结构简单、成本低、易于实施应用等优点。

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