本文源自:金融界
金融界2024年11月13日消息，国家知识产权局信息显示，杭州星原驰半导体有限公司申请一项名为“一种立式炉进气连接组件”的专利，公开号 CN 118932315 A，申请日期为 2024年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种立式炉进气连接组件，包括加热器，加热器内部安装有反应管，反应管呈下端开口，反应管的内部设有反应室，反应管的下部连接有歧管，歧管底部密封连接有密封盖，密封盖远离歧管的一端连接有抬升杆，抬升杆上安装有电动推杆，密封盖上转动设置有旋转轴，旋转轴的一端贯穿密封盖且设置在歧管内部旋转轴上安装有转动平台旋转轴的另一端固定有转动电机，转动平台上方载有晶舟，晶舟上载有晶圆，反应室内安装有喷嘴，歧管上开设有宽槽，宽槽内安装有喷嘴支架，喷嘴的一端与喷嘴支架的一端实现连接，本申请提供的喷嘴固定结构，无需使用喷嘴及支架以外的卡定部件及板簧部件，不仅占用空间更小，还使喷嘴拆装维护更方便。
