本文源自:金融界
金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海恢卓光学科技有限公司申请一项名为“一种双波长晶圆形貌光学测量系统及方法”的专利，公开号CN 118936360 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明公开了光学技术领域的一种双波长晶圆形貌光学测量系统及方法，包括：光源模块：接收控制器发出的控制信号，以及，基于控制信号向准直物镜模块同步发出波长不同的两束光束；准直物镜模块：将所述两束光束通过镜片调整成平行光束后，分别射向晶圆表面和聚焦成像模块，以及，接收晶圆表面的反射光束后射向聚焦成像模块；聚焦成像模块：将所述反射光束和所述平行光束产生的相位差信息传到控制器；控制器：基于所述相位差信息进行数据融合，计算合成波长后进行相位解析，测量晶圆形貌。本发明采用两种波长的光源进行同步波长相移，通过光路系统在相机上分别获取不同波长的干涉条纹，实现大翘曲晶圆形貌测量。
