本文源自:金融界
金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“三自由度读数头、光栅干涉仪及位移测量系统”的专利，公开号CN 118936302 A，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，本发明涉及光学系统 技术领域，提供一种三自由度读数 头、光栅干涉仪及位移测量系统， 该三自由度读数头包括：分光组件 和导光组件。该三自由度读数头借 助于分光组件，将第一信号光分为五路第一光束，将第二信号 光分为五路第二光束，结构简单，成本较低。借助于分光组件和 导光组件，具有三个自由度，可以从三个维度对因光栅位移而 引起的干涉信号的变化情况进行采集，进而可以为从三个维度 对光栅进行位移测量提供依据如此该三自由度读数头可以 适用于对二维光栅的三自由度位移的准确测量，且由于第一路 第一光束与第一路第二光束经导光组件在预设水平面内混合 输出，可以用于作为补偿信号，以补偿光信号传输过程中产生 的误差。
