北京华卓精科申请读数头、光栅干涉仪及位移测量系统专利,为从两个维度对光栅进行位移测量提供依据

北京华卓精科申请读数头、光栅干涉仪及位移测量系统专利,为从两个维度对光栅进行位移测量提供依据
2024年11月14日 10:30 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月14日消息,国家知识产权局信息显示,北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“读数头、光栅干涉仪及位移测量系统”的专利,公开号CN 118936301 A,申请日期为2023年5月。

专利摘要显示,本发明涉及光学系统技术领域,提供一种读数头、光栅干涉仪及位移测量系统,该读数头包括:分光组件和导光组件,该读数头借助于分光组件,将第一信号光分为五路第一光束,将第二信号光分为三路第二光束,该读数头具有两个自由度,可以从两个维度对因光栅位移而引起的干涉信号的变化情况进行采集,进而可以为从两个维度对光栅进行位移测量提供依据。如此,该读数头可以适用于对不同栅线方向的光栅的位移测量,且对光栅的测量范围不受现有的距离限制,并可以得到大幅度提高。而且,该读数头的两个自由度可以共享三路第二光束,可以更为简单地实现相应的效果。

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