本文源自:金融界
金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，西安晟光硅研半导体科技有限公司取得一项名为“一种气驱式超高压水泵”的专利，授权公告号 CN 221990662 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种气驱式超高压水泵，包括：进气装置、进水装置、气液增压泵、缓冲装置、压力调节装置、反馈装置和输出装置；通过进气装置和进水装置提供稳定的压缩空气和稳定的超纯水作为气液增压泵的气源和水源；使用气液增压泵将超纯水的压力增压到高于预设压力值；利用缓冲装置对增压后的超纯水进行缓冲并存储，再通过压力调节装置对超纯水的压力进行调节至预设压力值，以使得超纯水在保持较小输出流量的同时保证水压的稳定输出，利用反馈装置将输出的超纯水的压力反馈至压力调节装置以实现反馈调节，使得输出的超纯水的压力满足技术需求的同时更加稳定。
