本文源自:金融界
金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，杭州广立测试设备有限公司申请一项名为“探针台的控制方法、装置及电子设备”的专利，公开号CN 118937971 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明提供了一种探针台的控制方法、装置及电子设备，控制待测晶圆到达测试位置；将第一个测试计划作为当前测试计划，获取其自动升降温控制算法，以依次将卡盘的温度调整至卡盘测试温度、根据第一执行模块第一针压完成预热、对预热后的探针进行自动对针处理，然后执行当前测试计划；对下一个测试计划重复上述过程。该方式可以根据测试计划，自动获取卡盘测试温度和第一针压，不需要手动设置，并且该方式在对探针完成预热后，可以对预热后的探针进行自动对针处理，不需要重新扎针并查看针痕，在完成每个测试计划后，不需要重复移出待测晶圆的操作，减少了手动操作的过程，降低了人力成本，简化了操作过程，降低了因人为操作导致的出错风险。
