上海芯东来半导体科技申请高精度滑台组件及光刻机工作台专利，避免滑台在运动过程中发生轻微抖动和摩擦_

本文源自:金融界

金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海芯东来半导体科技有限公司申请一项名为“高精度滑台组件及光刻机工作台”的专利，公开号CN 118938612 A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明提供了一种高精度滑台组件及光刻机工作台，高精度滑台组件包括基座、滑台、滑台驱动部以及调节部；所述滑台用于承载晶圆载台；基座设有直线导轨，滑台安装于直线导轨，滑台驱动部连接于滑台以驱动滑台沿直线导轨运动。调节部的第一端连接于滑台驱动部，调节部的第二端转动连接于滑台的一端，调节部能够在滑台驱动部的驱动下绕滑台的一端朝靠近基座或者远离基座的方向转动。能够避免滑台在运动过程中发生轻微抖动和摩擦，提高了滑台静态性能和滑台组件的使用寿命。