本文源自:金融界
金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，盐城维信电子有限公司申请一项名为“LDI曝光机对位精度的检测方法”的专利，公开号CN 118938615 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种LDI曝光机对位精度的检测方法，方法包括对铜箔基材进行镭射加工形成对位靶孔阵列；进行一次压干膜，利用待测LDI曝光机进行一次曝光形成由m个均匀分布的圆形黑区阵列组成的第一曝光图形；依次进行一次显影和一次蚀刻，使得所有圆形黑区均被蚀刻掉；进行二次压干膜，并利用待测LDI曝光机进行二次曝光形成由m个均匀分布的圆形白区阵列组成的第二曝光图形；依次进行二次显影和二次蚀刻，使得除所有圆形白区阵列之外的区域均被蚀刻掉，形成m个铜箔圆环阵列；利用m个铜箔圆环阵列，计算得到对位精度。本发明实现了待测LDI曝光机的对位精度的精确检测，无需配置单独的检测设备，可靠性高和可控性高，成本低，普适性高。
