联盛半导体取得可适应不同形状硅片的清洗篮专利,保护硅片在清洗提篮清洗中不损坏

联盛半导体取得可适应不同形状硅片的清洗篮专利,保护硅片在清洗提篮清洗中不损坏
2024年11月14日 20:21 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月14日消息,国家知识产权局信息显示,联盛半导体科技(无锡)有限公司取得一项名为“可适应不同形状硅片的清洗篮”的专利,授权公告号CN 221994430 U,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本实用新型公开了可适应不同形状硅片的清洗篮,涉及硅片加工技术领域,包括两前后对称设置的面板,两面板通过若干梳子形定位装置相连;各面板上相同位置设有两长条通孔,各面板上两长条通孔的底端间距小于其顶端间距;两面板相同位置的长条通孔之间活动连接有纵杆;纵杆靠近清洗篮形心侧纵向排列有若干第二梳齿;各纵杆螺纹连接有压紧环轮,纵杆的面板与压紧环轮之间设有压紧垫环。本实用新型具有可以调节以适应不同尺寸的硅片,保护硅片在清洗提篮清洗中不损坏,增加在清洗提篮中硅片稳定性优点。

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