本文源自:金融界
金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，西安诺瓦星云科技股份有限公司取得一项名为“清洗装置及返修设备”的专利，授权公告号 CN 221994422 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请属于晶圆缺陷维修技术领域，提供了一种清洗装置及返修设备，清洗装置包括清洗组件、活动座、磁吸组件、传动机构及驱动组件；磁吸组件连接于清洗组件和活动座之间，以用于使清洗组件磁吸连接于活动座上；驱动组件通过传动机构与活动座联动配合，以使清洗组件沿预设轨迹运动。本申请旨在解决现有技术中清洗部件更换费时费力的技术问题。
