本文源自:金融界
金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息显示，上海聚跃检测技术有限公司申请一项名为“芯片加工调试方法、系统、设备及可读存储介质”的专利，公开号 CN 118943040 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明公
开了一种芯片加工调
试方法，其包括：以芯
片加工平面上一点为
特征点，特征点为加工
平面与聚焦装置主轴
的交点；将芯片绕切线
轴旋转预设角度，切线
轴为垂直于聚焦装置
主轴且过能量束焦点
的直线；获取旋转前后
所述特征点的位置变
化，判断芯片加工高度是否可用；若芯片加工高度不可用，则基
于旋转前后特征点的位置变化调整加工平面与焦点的距离。与
现有技术相比，本发明在俯视角下即可完成对芯片高度的调
试，不需要引入新的设备，并且应用该方法可实现超过现有技
术的调试精度。进一步的，本发明提供有多种不同的调试策略，
基于不同的使用场景自由选择基于函数关系的自动调试或手
动调试的方法对芯片加工高度进行修正，提高了本方案的适应
性。
