本文源自:金融界
金融界2024年11月15日消息,国家知识产权局信息显示,吾拾微电子(苏州)有限公司申请一项名为“一种半导体器件处理设备”的专利,公开号CN 118943058 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本申请涉及一种半导体器件处理设备,包括:工作台;上料装置,承载运输装置,驱动承载台沿第一方向在第一位置和第二位置之间移动;抓取装置;贴膜装置;压合装置;裁切装置。贴膜装置的供料组件和收料组件分别位于承载台的两侧,蓝膜的一端卷绕在供料组件上,另一端卷绕在收料组件上,供料组件能够跟随收料组件转动,供料组件具有第一预设速度,收料组件具有第二预设速度,第一预设速度与第二预设速度趋于一致,使得供料组件与收料组件之间的蓝膜始终具有张紧力,压合装置将保持张紧力的蓝膜压合贴附在晶圆和铁环上,使蓝膜在覆盖晶圆时能够紧密贴合,避免出现褶皱、气泡等缺陷,极大地提高了贴膜的平整度和均匀性,从而提升了半导体器件的质量。
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