本文源自:金融界
金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息显示，吾拾微电子（苏州）有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗装置及清洗设备”的专利，公开号CN 118943056 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆清洗装置及清洗设备，晶圆清洗装置包括：清洗装置包括安装板、安装在安装板上的连接件、承托组件以及分流组件、驱动组件和导流组件。承托组件用于承托晶圆，分流组件用于对清洗晶圆用不同的清洗液进行分开回收，从而可以实现对不同清洗液的独立导流，避免不同清洗液之间的混合，保证每种清洗液的纯度和有效性；当清洗不同类型的污染物时，可以使用不同的清洗液进行针对性清洗，并且清洗液能够分开回收，便于后续的处理和再利用，降低了清洗成本，同时减少了对环境的污染。
