本文源自:金融界
金融界2024年11月15日消息,国家知识产权局信息显示,上海磊尚智能科技有限公司申请一项名为“一种基片对齐装置及其对齐方法”的专利,公开号 CN 118943066 A ,申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基片对齐装置及其对齐方法,属于键合技术领域,应用于具有上压块和下压块的键合设备,对齐装置包括升降组件、分隔组件以及对齐组件;升降组件包括相对于机架固定连接的升降机构以及固定在升降机构的输出端的升降导杆,下压块开设有供升降导杆穿入的贯通孔;分隔组件包括至少两个呈周向间隔状固定在机架上的分隔伸缩机构,分隔伸缩机构的输出端均固定有分隔块,各分隔块位于同一水平高度;对齐组件包括固定在机架上且相互交错布置的两组共四个对齐伸缩机构,各对齐伸缩机构的输出端均固定有对齐块。本发明结构设计合理,能够高效且准确的对两个基片进行对齐操作。
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