无锡新聚力取得智能型晶圆减震搬运结构专利,达到减震效果,防止晶圆振动损坏

无锡新聚力取得智能型晶圆减震搬运结构专利,达到减震效果,防止晶圆振动损坏
2024年11月16日 13:55 金融界网站

本文源自:金融界

金融界2024年11月16日消息,国家知识产权局信息显示,无锡新聚力科技有限公司取得一项名为“一种智能型晶圆减震搬运结构”的专利,授权公告号CN 222005852 U,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一

种智能型晶圆减震搬运结构,涉

及晶圆搬运技术领域,包括减震

组件和定位组件,所述减震组件

包括底座、滑杆组、滑块组、减震

弹簧、支撑杆和支承座,且底座的

内部两侧之间设置有滑杆组,所

述滑杆组的外部滑动设置有滑块

组,且滑块组之间连接有减震弹

簧,所述滑块组的顶部通过转轴

连接有支撑杆,且支撑杆的顶部

通过转轴连接有支承座,所述定

位组件设置于支承座的顶部,且

定位组件的外侧设置有连接架。

该智能型晶圆减震搬运结构,在搬运过程中受到颠簸时,支承

座会纵向位移引起支撑杆角度变化,同时带动滑块组在滑杆组

外部横向滑动,利用减震弹簧将冲击能量转化为机械能和内能

吸收,达到减震效果,防止晶圆振动损坏。

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