本文源自:金融界
金融界2024年11月16日消息,国家知识产权局信息显示,无锡新聚力科技有限公司取得一项名为“一种智能型晶圆减震搬运结构”的专利,授权公告号CN 222005852 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一
种智能型晶圆减震搬运结构,涉
及晶圆搬运技术领域,包括减震
组件和定位组件,所述减震组件
包括底座、滑杆组、滑块组、减震
弹簧、支撑杆和支承座,且底座的
内部两侧之间设置有滑杆组,所
述滑杆组的外部滑动设置有滑块
组,且滑块组之间连接有减震弹
簧,所述滑块组的顶部通过转轴
连接有支撑杆,且支撑杆的顶部
通过转轴连接有支承座,所述定
位组件设置于支承座的顶部,且
定位组件的外侧设置有连接架。
该智能型晶圆减震搬运结构,在搬运过程中受到颠簸时,支承
座会纵向位移引起支撑杆角度变化,同时带动滑块组在滑杆组
外部横向滑动,利用减震弹簧将冲击能量转化为机械能和内能
吸收,达到减震效果,防止晶圆振动损坏。
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