本文源自:金融界
金融界 2024 年 11 月 19 日消息,国家知识产权局信息显示,杭州广立微电子股份有限公司取得一项名为“一种掩膜图形数据检测结构及其测试芯片”的专利,授权公告号 CN 222014754 U,申请日期为 2024 年 3 月 。
专利摘要显示,本实用新型涉及一种掩膜图形数据检测结构,其中,掩膜图形数据检测结构包括至少两个检测单元;检测单元设置有目标图层的检测项的原始图形数据,且检测单元之间相互独立;检测单元,用于基于目标图层的检测项的原始图形数据,对目标图层的掩膜图形数据中检测项进行检测。本实用新型针对 JDV 种后段各层需要检查的重要检测项,为每个检测项设计了对应的检测单元,并实现了在一个掩膜图形数据检测结构中可以检查多个目标图层、多个检测项,极大地简化了做后段 JDV 检测地流程,降低时间成本,提高效率。
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