本文源自:金融界
金融界2024年11月21日消息，国家知识产权局信息显示，中环领先半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种载具的清洁方法”的专利，公开号 CN 118976753 A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种载具的清洁方法，涉及半导体制造技术领域。载具的清洁方法，用于清洁外延反应后的载具，载具上覆设有涂层，涂层的一侧设有沉积层，清洁方法包括：去除至少部分沉积层得到覆设有涂层的载具对覆设有涂层的载具进行热 处理和表面处理，以完成对载具的清洁。本申请通过将外延反 应后的载具进行沉积层去除、加热处理以及表面处理等清洁处理，可以实现载具的清洁，同时还可以提高载具的使用寿命。
