本文源自:金融界
金融界2024年11月21日消息，国家知识产权局信息显示，宁波芯丰精密科技有限公司申请一项名为“加工设备及其使用方法”的专利，公开号CN 118977160 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体公开了一种加工设备及其使用方法，该设备包括工作台，在工作台上分别设置冷却循环通道、真空吸附通道和混合通道，混合通道用于对多孔陶瓷盘上的孔抽真空、吹扫或输送清洗介质，以满足加工设备对晶圆的加工需求。冷却循环通道内的冷却介质对承盘和多孔陶瓷盘降温，避免在加工过程中发生受热变形，保证加工精度。通过真空吸附通道对底端盘进行真空吸附，在加工过程中保证底端盘与底座盘之间不会产生间隙，避免硅粉堆积导致最终的晶圆良品率下降。
